Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Книга "Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2"
Авторы: Юрий Борисович Цветков
Издатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания 2019
Страниц: 122
ISBN: 978-5-70-384864-7, 978-5-7038-4864-7
Описание
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Характеристики
- Наименование Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
- Категория Книги/Профессиональная литература/Автоматика. Радиоэлектроника. Связь
- Авторы Юрий Борисович Цветков
- Издатель МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Год издания 2019
- Всего страниц 122
- ISBN 978-5-70-384864-7, 978-5-7038-4864-7
- Способ получения Доставка, самовывоз
- Тип Книга
- Продавец Читай-город
- Актуальность 05.11.2026
Еще в этой категории
Другие интернет-магазины
